申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117783244A

主分类号：G01N27/414

分类号：G01N27/414

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：传感器敏感模块、钌岛增强氨气传感器和氨气中氨分子检测方法，涉及气体传感技术领域。为解决现有技术中存在的，现今氨气传感器的研究中，对于提高灵敏度遇到了新的瓶颈，因为金属氧化物纳米颗粒的活性位点有限，不能充分催化氨气分子的分解的技术问题，本发明提供的技术方案为：传感器敏感模块，所述模块包括：底栅极材料层、起隔绝作用的介电层2、沟道材料层、连接所述沟道材料层的漏极材料、起隔绝用作的介电层1和设置在所述介电层表面的敏感材料层。所述底栅极材料层、起隔绝作用的介电层2、沟道材料层、起隔绝用作的介电层1和设置在所述介电层表面的敏感材料层依次紧密层叠。可以应用于医疗诊断、空气质量检测、化工厂安全预警等领域。

主权项：1.传感器敏感模块，其特征在于，所述模块包括：底栅极材料层、起隔绝作用的介电层2、沟道材料层、连接所述沟道材料层的漏极材料、起隔绝作用的介电层1和设置在所述介电层表面的敏感材料层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 传感器敏感模块、钌岛增强氨气传感器和氨气中氨分子检测方法

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