申请/专利权人:北京寰宇晶科科技有限公司
申请日:2023-12-28
公开(公告)日:2024-03-29
公开(公告)号:CN117790344A
主分类号:H01L21/607
分类号:H01L21/607;C04B41/89;C23C16/34;C23C16/02;C23C16/27;C23C16/503;B82Y30/00;B82Y40/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开
摘要:本申请涉及半导体加工焊接工具技术领域,具体公开了一种具有复合CVD金刚石涂层的陶瓷劈刀及其制备方法。所述陶瓷劈刀,包括劈刀本体、内孔和位于本体一端的焊嘴,所述内孔沿劈刀本体的纵轴方向延伸并终止于焊嘴的内倒角;所述焊嘴的端面沉积有微米金刚石涂层,所述内孔的表面沉积有纳米金刚石涂层;且所述微米金刚石涂层与焊嘴的端面、纳米金刚石涂层与内孔的表面之间均沉积有过渡层。本申请得到的陶瓷劈刀在焊接2000万次左右后第二焊点疲劳拉力值下降至临界值2.7g,比未涂层陶瓷劈刀的寿命高10倍左右。
主权项:1.一种具有复合CVD金刚石涂层的陶瓷劈刀,其特征在于,所述陶瓷劈刀包括劈刀本体、内孔和位于本体一端的焊嘴,所述内孔沿劈刀本体的纵轴方向延伸并终止于焊嘴的内倒角;所述焊嘴的端面沉积有微米金刚石涂层,所述内孔的表面沉积有纳米金刚石涂层;且所述微米金刚石涂层与焊嘴的端面、纳米金刚石涂层与内孔的表面之间均沉积有过渡层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京寰宇晶科科技有限公司 一种具有复合CVD金刚石涂层的陶瓷劈刀及其制备方法
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