申请/专利权人:东南大学
申请日:2023-12-29
公开(公告)日:2024-03-29
公开(公告)号:CN117779190A
主分类号:C30B29/02
分类号:C30B29/02;C30B29/64;C30B25/16
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开
摘要:本发明公开了一种用于二维碲单晶的相工程调控方法。该方法包括以下步骤:选择拥有长梯度降温范围的管式炉,再通过两步气相沉积法CVD控制生长参数包括温度,气体流速,保温时间在单层二硫化钨WS2上生长碲单晶,其中,在第二步气相沉积中对气体流速的控制可得到所述的不同碲单晶相,实现相工程调控。利用原子簇密度和界面引导的多重控制策略,用于相和厚度控制合成α‑Te纳米片和β‑Te纳米带,得到不同相结构的二维高质量碲单晶。本发明得到的α‑Te纳米片表现出从金属到n型半导体的转变的电学特性,而β‑Te纳米带则展现出杰出的电学性能包括迁移率,电流密度,并且它们都展现出良好的空气稳定性。
主权项:1.一种用于二维碲单晶的相工程调控方法,其特征在于,利用CVD两步法制备二维碲单晶,通过控制气体流速,匹配降温过程的温度梯度,合成α-Te纳米片和β-Te纳米带,即制备出具有不同相结构的二维碲单晶;二维碲单晶生长的过程中,气体流速为50-200sccm,生长温度为310-550℃,生长时间为2-20min。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 东南大学 一种用于二维碲单晶的相工程调控方法
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