申请/专利权人：中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司

申请日：2023-12-30

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117790633A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0236

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供一种砷化镓太阳能电池的制备方法，包括：在基底的两侧面分别制备上电极和下电极；制备减反射膜，减反射膜设于基底的设有上电极的一侧面；采用套刻方式制备隔离槽区域和焊点区域；在焊点区域粘贴防护层，对焊点区域进行防护；对隔离槽区域进行刻蚀，形成隔离槽；去除防护层，对焊点区域进行减反射膜刻蚀，形成焊点；去除光刻胶。本发明的有益效果是不存在牺牲光刻精度的问题，没有引入有机物进入真空蒸镀流程，保证工艺可靠性，采用粘贴防护层和去除防护层流程取代光刻，在完全不牺牲第三次光刻精度、完全不改变介质膜蒸镀工艺的前提下，实现了光刻工艺的缩减，有效降低成本。

主权项：1.一种砷化镓太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤，在基底的两侧面分别制备上电极和下电极；制备减反射膜，所述减反射膜设于所述基底的设有上电极的一侧面；采用套刻方式制备隔离槽区域和焊点区域；在所述焊点区域粘贴防护层，对所述焊点区域进行防护；对所述隔离槽区域进行刻蚀，形成隔离槽；去除所述防护层，对所述焊点区域进行所述减反射膜刻蚀，形成焊点；去除光刻胶。

全文数据：

权利要求：

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