申请/专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117778980A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/54;G01C9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种加热基座的水平度监控系统和方法及工艺设备，通过测量加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，根据各相对距离，计算出加热基座的水平度偏移量，从而可对加热基座的水平度进行实时监控；当水平度偏移量满足阈值而超标时，通过对加热基座进行减小水平度偏移量的调整，实现对加热基座的水平度进行在线自动校准，可排除人为因素的干扰，具有成本低廉，方法简单易行，监控及时高效，调整精确可靠的优点。

主权项：1.一种加热基座的水平度监控系统，其特征在于，包括：测量分析模块，用于测出加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，并根据各所述相对距离，计算出所述加热基座的水平度偏移量；水平调整模块，用于受控对所述加热基座进行所述水平度偏移量超标时的自动达标调整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一种加热基座的水平度监控系统和方法及工艺设备

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