申请/专利权人：江苏峰博装备技术有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220678763U

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B05B15/55;B08B13/00;G03F7/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型提供一种显影喷嘴清洗保湿装置，涉及清洗保湿装置技术领域，包括保湿组件、清洗槽、弹簧、螺钉和显影喷嘴本体，所述保湿组件是由保湿底腔、排液接头、可调支撑座和保湿盖板组成，所述清洗槽是由底座、凹槽、安装板、护板、清洗管、排废管和第一密封圈组成。本实用新型中，通过保湿组件和清洗槽的设置，使该装置能够去除显影喷嘴装置外表面及喷嘴尖端的残留液滴，避免该液滴显影喷嘴装置移动过程中滴落或者由于残留的液体导致晶圆之间交叉污染而影响晶圆的性能，同时保湿底腔设有保湿槽，保湿槽内存有一定保湿液，可对显影喷嘴进行保湿，避免显影喷嘴表面的液体固化后表面张力被破坏导致液体整管滴落。

主权项：1.一种显影喷嘴清洗保湿装置，包括保湿组件1、清洗槽2、弹簧3、螺钉4和显影喷嘴本体5，其特征在于：所述保湿组件1是由保湿底腔11、排液接头12、可调支撑座13和保湿盖板14组成，所述清洗槽2是由底座21、凹槽211、安装板22、护板23、清洗管24、排废管25和第一密封圈26组成，所述保湿组件1通过弹簧3和清洗槽2进行连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏峰博装备技术有限公司 一种显影喷嘴清洗保湿装置

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