申请/专利权人：上海鑫华夏半导体设备有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220685237U

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种固态前驱体升华装置，包含：进气管、出气管和升华罐；进气管伸入升华罐底部，进气管向升华罐通入载气体；升华罐内放置有固态前驱体；出气管设在升华罐顶部，升华罐内升华后的前驱体与载气体混合，形成混合气体，混合气体经出气管排出。本实用新型能够实现前驱体的充分升华挥发，提高前驱体的利用率。

主权项：1.一种固态前驱体升华装置，其特征在于，包含：进气管、出气管和升华罐；所述进气管伸入所述升华罐底部，所述进气管向所述升华罐通入载气体；所述升华罐内放置有所述固态前驱体；所述出气管设在所述升华罐顶部，所述升华罐内升华后的所述前驱体与所述载气体混合，形成混合气体，所述混合气体经所述出气管排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海鑫华夏半导体设备有限公司 固态前驱体升华装置

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