申请/专利权人：德易力科技股份有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220691288U

主分类号：G05B19/042

分类号：G05B19/042

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种控制二处理设备交替转换运转状态的控制装置，各处理设备交替运转处理半导体制程产生的废气，二管路分别对各处理设备输送废气，二电热单元分别对各管路提供热能，所述的控制装置，包括一人机接口控制器、一可程控器及一讯号传输端口，其中可程控器时序控制各截断阀及各电热单元，从而使各电热单元分别选择升载或降载，降低备援状态的电热单元的电能消耗，降低总体的碳排放。

主权项：1.一种控制二处理设备交替转换运转状态的控制装置，所述的二处理设备交替运转处理半导体制程产生的废气，各处理设备分别定义为第一处理设备及第二处理设备，一第一管路连通第一处理设备及产生废气的制程设备，一第二管路连通第二处理设备及制程设备，废气选择通过第一管路或第二管路传送至第一处理设备或第二处理设备，一第一电热单元包括数个第一电热带及一第一温度控制器，各第一电热带沿着第一管路依序配置并分别包覆第一管路，第一温度控制器侦测第一管路的温度并控制各第一电热带产生热能，一第二电热单元包括数个第二电热带及一第二温度控制器，各第二电热带沿着第二管路依序配置并分别包覆第二管路，第二温度控制器侦测第二管路的温度并控制各第二电热带产生热能，一第一截断阀设于第一管路连通制程设备的方向端，一第二截断阀设于第二管路连通制程设备的方向端；所述的控制装置，其特征在于包括一人机接口控制器、一可程控器及一讯号传输端口，其中人机接口控制器电性连接可程控器，可程控器电性连接讯号传输端口，讯号传输端口耦接第一截断阀及第二截断阀，第一温度控制器及第二温度控制器并联耦接讯号传输端口；人机接口控制器包括一显示器、一开关回路及一微处理器，其中显示器及开关回路分别电性连接微处理器，显示器显示第一管路及第二管路的温度，显示第一截断阀及第二截断阀的通断状态，开关回路对微处理器传送第一控制讯号，微处理器对可程控器传送第二控制讯号，可程控器通过讯号传输端口分别时序控制第一截断阀、第二截断阀、第一温度控制器及第二温度控制器。

全文数据：

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