申请/专利权人:丹阳丹耀光学股份有限公司
申请日:2023-12-29
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN117804384A
主分类号:G01B11/26
分类号:G01B11/26;G01M11/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开
摘要:本发明公开了一种棱镜塔差测量方法及其测量装置,该方法通过干涉仪去测量棱镜干涉条纹的数量,然后应用到计算公式中,倒推出棱镜的塔差;与原有技术方案,测角仪直接测量塔差相比,利用干涉仪来计算棱镜的塔差,能够提供更高的测量精度,因为其能够检测到由塔差引起的非常微小的光程差异进而造成的干涉条纹变化量,再通过直接读取干涉条纹的数量,可直接计算棱镜塔差,计算流程简化,不需要复杂的转换和计算过程。
主权项:1.一种棱镜塔差测量方法,其特征在于:包括以下步骤:获取待测棱镜工作面长度值和材料折射率;将棱镜摆放至干涉仪对应的测量角度,启动所述干涉仪,读取干涉仪上的条纹数值;根据公式1计算塔差: 其中,λ为干涉仪入射光的波长,单位为纳米,N为棱镜的折射次数,n为材料折射率,L为端面长度,M为条纹数值;所述a的计算结果即为所述塔差。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 丹阳丹耀光学股份有限公司 一种棱镜塔差测量方法及其测量装置
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