申请/专利权人：西安中科微精光子科技股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805139A

主分类号：G01N21/954

分类号：G01N21/954;G01N21/88

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2024.04.12#发明专利申请公布后的撤回;2024.04.02#公开

摘要：本发明属于激光加工领域，涉及一种激光制孔对壁损伤的检测方法及检测装置，该检测装置包括照明装置、半透半反镜以及聚焦系统；照明装置出射照明光；半透半反镜设置在照明光所在光路上；照明光经半透半反镜透射后射入制孔对壁，经制孔对壁反射后形成反射光；反射光经半透半反镜反射后入射至聚焦系统。本发明提供了一种便于获取对壁损伤情况、操作便利以及与制孔用激光共轴的激光制孔对壁损伤的检测方法及检测装置。

主权项：1.一种激光制孔对壁损伤的检测方法，其特征在于：所述激光制孔对壁损伤的检测方法包括以下步骤：1保持激光制孔的光学设备不动，所述激光制孔的光学设备包括激光器、半透半反镜以及聚焦系统；2关闭激光器，向半透半反镜射出照明光；所述照明光与激光器出射的激光同轴；3照明光经半透半反镜透射后射入由激光制得的孔内，经孔对壁反射后，形成反射光；4反射光经半透半反镜反射后进入聚焦系统；5通过聚焦系统获取孔对壁的反射图；6判断反射图的画面是否均匀一致，若是，则孔对壁未出现损伤；若否，则孔对壁出现损伤。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安中科微精光子科技股份有限公司 激光制孔对壁损伤的检测方法及检测装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD