申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2018-11-12

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810058A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H01L21/67;H05H1/34;F25D17/08

优先权：["20171115 US 15/814,139"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：衬底处理系统包括多区域冷却装置，以对衬底处理室中全部或基本上全部的窗提供冷却。在一方面，该装置包括一或更多个气室，以覆盖衬底处理室中全部或实质上全部的窗，其包括在衬底处理室中用于变压器耦合型等离子体的能量源下方。一或更多个空气放大器及随附导管提供空气至一或更多个气室，以提供气流至窗。这些导管连接至距离中心不同距离处的气室入口，以引导气流至整个窗，从而处理取决于室中所进行的工艺的中心热、中间热及边缘热状况。在一方面，该一或更多个气室包括中心空气入口，以引导空气朝向窗的中心部分，以处理中心热状况。

主权项：1.一种衬底处理系统，其包括：处理室，其具有窗，所述窗位于所述处理室的顶部，所述窗并覆盖所述处理室；第一线圈，其位于所述窗上方，所述第一线圈用于产生电磁能，以电离所述处理室中的处理气体从而在所述处理室中产生等离子体；第一，第二，第三空气放大器，其用于在启动时产生气流；气室，其位于所述第一线圈下方且在所述窗上方，所述气室具有侧壁，且具有面积基本上相等于所述窗的上表面的面积的顶表面，所述顶表面具有第一空气入口，其位于所述气室的所属顶表面的中央部分周围以接收来自所述第一空气放大器的所述气流，所述第一空气入口包含多个孔洞从而将所述空气分布于所述气室的所述侧壁内的所述窗上，从而减少在所述第一线圈下方的所述窗的中央部分的热点，所述气室还包括：在所述气室的所述顶表面的边缘部分的第二空气入口，以接收来自所述第二空气放大器的所述气流从而减少在所述窗的边缘部分的热点；以及在所述气室的所述顶表面的中间部分的第三空气入口，在所述气室的所述顶表面的所述边缘部分和中央部分之间，以接收来自所述第三空气放大器的所述气流从而减少在所述窗的中间部分的热点。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 受等离子体加热的窗的多区域冷却

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