申请/专利权人：武汉万集光电技术有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805773A

主分类号：G01S7/481

分类号：G01S7/481;G01S17/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请属于激光雷达技术领域，并提供了一种MEMS振镜、振镜结构、振镜调节装置及激光雷达系统，MEMS振镜包括镜片和固定结构；镜片呈片状，并具有镜面和背对镜面的背面；固定结构包括均凸设于背面的固定体和连接梁，固定体呈环绕镜片的中轴线设置的环状，连接梁至少设有一个，并呈线状延伸，连接梁与固定体相交或非相交设置；振镜结构、振镜调节装置及激光雷达系统均包括上述MEMS振镜。本申请旨在解决现有技术中MEMS振镜加速转动的过程中镜面动态变形大的技术问题。

主权项：1.一种MEMS振镜，应用于激光雷达系统，其特征在于，包括：镜片，呈片状，并具有镜面和背对所述镜面的背面；及固定结构，包括均凸设于所述背面的固定体和连接梁，所述固定体呈环绕所述镜片的中轴线设置的环状，所述连接梁至少设有一个，并呈线状延伸，所述连接梁与所述固定体相交或非相交设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉万集光电技术有限公司 MEMS振镜、振镜结构、振镜调节装置及激光雷达系统

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