申请/专利权人：上海大学

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804388A

主分类号：G01B11/30

分类号：G01B11/30;G02B7/18;G03H1/00;G01B11/24;G01B9/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及光学扫描检测领域，涉及一种柔性导光臂全息扫描检测装置，包括：用于支撑的底座、导光臂、干涉装置以及外置导轨组，光线从底座的进光口射入，进入导光臂，进入反光镜组件的光线通过平面反光镜19的反射从出光通道15射出；光线进入干涉装置，物光和参考光在相机处形成干涉，外接计算机处理图像，最后即可获取物体形貌，完成扫描；在扫描图像时，通过外置导轨组移动干涉装置。与现有技术相比，本发明具有结构简单、紧凑、能实现X、Y、Z三个平面的自由度等优点。

主权项：1.一种柔性导光臂全息扫描检测装置，其特征在于，该装置包括：底座1、导光臂2、用于扫描物体的干涉装置3以及外置导轨组，所述底座1开有进光口4，所述进光口4周围设有接口5；所述导光臂2包括：与所述接口5相连接的连接底座6、立设连接于连接底座1上的多关节组件以及与多关节组件相连的出光通道15，所述连接底座6、多关节组件内设有相连通的导光通道，所述多关节组件包括多个球形关节，所述球形关节内部设有用于反射光线的三角反射棱镜17；所述干涉装置3一侧与出光通道15连接，另一侧连接外置导轨组；所述外置导轨组包括：滑动连接的用于提供Y向移动的Y导轨、用于提供Z向移动的Z导轨，以及用于提供X向移动的X导轨25，所述干涉装置3移动设于X导轨25上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大学 一种柔性导光臂全息扫描检测装置

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