申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2024-01-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802564A

主分类号：C25F3/30

分类号：C25F3/30;C25F7/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请提供了一种溶液源盛放装置以及自动加液设备。所述溶液源盛放装置包括：多个溶液源盛放瓶，多个所述溶液源盛放瓶的容积不相同；每一所述溶液源盛放瓶的底部连接有一导出管，所述导出管用于将相应所述溶液源盛放瓶内的溶液导出；每一所述导出管上设置有一阀门，所述阀门打开时，相应所述溶液源盛放瓶内的溶液通过相应所述导出管导出。通过将上述溶液源盛放瓶作为溶液源并与待添加溶液的设备连接，可以减少人工操作，并避免误添加的问题。

主权项：1.一种溶液源盛放装置，其特征在于，包括：多个溶液源盛放瓶，多个所述溶液源盛放瓶的容积不相同；每一所述溶液源盛放瓶的底部连接有一导出管，所述导出管用于将相应所述溶液源盛放瓶内的溶液导出；每一所述导出管上设置有一阀门，所述阀门打开时，相应所述溶液源盛放瓶内的溶液通过相应所述导出管导出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海积塔半导体有限公司 溶液源盛放装置以及自动加液设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD