申请/专利权人：富士胶片株式会社

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117812988A

主分类号：H10N30/20

分类号：H10N30/20;H10N30/87

优先权：["20220930 JP 2022-158871"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以添加了金属元素M的PZT作为主成分，第1压电膜和第2压电膜中的一个压电膜具有在膜厚方向上一致的自发极化，将表示其中一个压电膜的极化‑电压特性的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcf+、负侧的矫顽电压设为Vcf‑，将另一个压电膜的极化‑电压特性中的、正侧的矫顽电压设为Vcr+、负侧的矫顽电压设为Vcr‑时，满足|Vcr++Vcr‑|＜|Vcf++Vcf‑|‑0.2。

主权项：1.一种压电元件，其在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，所述第1压电膜及所述第2压电膜以由如下通式表示的钙钛矿型氧化物作为主成分：Pba{ZrxTi1-x1-yMy}O3M是从包括V、Nb、Ta、Sb、Mo及W的组中选择出的金属元素，且0＜x＜1、0＜y＜1、0.9≤a≤1.2，在所述第1压电膜和所述第2压电膜中，至少x、y相同，所述第1压电膜和所述第2压电膜中的一个压电膜具有在膜厚方向上一致的自发极化，在表示所述一个压电膜的极化-电压特性的滞后曲线中，将正侧的矫顽电压设为Vcf+、将负侧的矫顽电压设为Vcf-，在表示所述第1压电膜和所述第2压电膜中的另一个压电膜的极化-电压特性的滞后曲线中，将正侧的矫顽电压设为Vcr+、将负侧的矫顽电压设为Vcr-，此时，满足|Vcr++Vcr-|＜|Vcf++Vcf-|-0.2，其中，单位均为[V]。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富士胶片株式会社 压电元件及致动器

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