申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810151A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01J37/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括陶瓷板和底座，所述陶瓷板与所述底座通过粘接层连接，所述底座上设有用于冷却气体流入的第一通孔和第一多孔件，所述第一多孔件设置在所述第一通孔与所述粘接层之间，所述陶瓷板中设有多孔组件和第二通孔，所述多孔组件位于所述第二通孔与所述粘接层之间，所述第二通孔与外界连通，所述多孔组件位于所述第一多孔件的上方。通过设置第一通孔、第一多孔件、多孔组件和第二通孔，进入到静电卡盘与吸附在静电卡盘上的吸附物之间，通过静电卡盘，能够获得更顺畅通气性；通过设置第二多孔件和第三多孔件，间隔排列，让冷却气体获得更长的通道，且通道是多道弯折的，能够更好的抑制电弧放电。

主权项：1.一种静电卡盘，其特征在于：包括陶瓷板和底座，所述陶瓷板与所述底座通过粘接层连接，所述底座上设有用于冷却气体流入的第一通孔和第一多孔件，所述第一多孔件设置在所述第一通孔与所述粘接层之间，所述陶瓷板中设有多孔组件和第二通孔，所述多孔组件位于所述第二通孔与所述粘接层之间，所述第二通孔与外界连通，所述多孔组件位于所述第一多孔件的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 君原电子科技(海宁)有限公司 一种静电卡盘

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