申请/专利权人：河南师范大学

申请日：2024-01-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804513A

主分类号：G01D5/353

分类号：G01D5/353;G01D11/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于腔内承载与悬臂梁支撑耦合结构的微机电法布里‑珀罗干涉仪，其中上基板、腔内承载墩，腔外承载层和下基板共同构成法布里‑珀罗腔体；上基板由基板载体、悬臂支撑梁、可动式圆弧悬臂梁和上镜面构成，上镜面不导电，基板载体、悬臂支撑梁、可动式圆弧悬臂梁共同作为上电极且具有一定电压；下基板由下镜面和下电极构成，下镜面接地，上电极和下电极等电势。在动态过程中，上基板必须尽可能保持垂直方向上的平动，否则会造成中心波长的漂移和极大的损耗。光学镜面与静电驱动器集于一体，匹配以合适的梁结构，便可以使光学镜面拥有理想的运动模式，以实现微机电法布里‑珀罗干涉仪的灵敏性和精细度。

主权项：1.基于腔内承载与悬臂梁支撑耦合结构的微机电法布里-珀罗干涉仪，其特征在于包括腔外承载层、设置于腔外承载层两侧的上基板和下基板以及设置于腔外承载层内部的腔内承载墩，该上基板、腔内承载墩、腔外承载层和下基板共同构成法布里-珀罗腔体，所述上基板由基板载体、悬臂支撑梁、可动式圆弧悬臂梁和上镜面构成，其中基板载体中部设有贯通的圆形内腔，可动式圆弧悬臂梁受力移动端两侧分别通过悬臂支撑梁与基板载体圆形内腔和上镜面外缘固定，该可动式圆弧悬臂梁另一侧不动端由腔内承载墩进行固定，相邻的可动式圆弧悬臂梁之间设有空气间隙，所述下基板由下镜面和下电极构成，其中下电极在下镜面的分布位置与可动式圆弧悬臂梁的受力移动端相对应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南师范大学 基于腔内承载与悬臂梁支撑耦合结构的微机电法布里-珀罗干涉仪

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD