申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所

申请日：2024-01-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805490A

主分类号：G01R27/08

分类号：G01R27/08;H01L21/66;G01R1/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种用于测试晶圆形固体衬底电阻率的装置，包括相对设置的夹板，两块夹板通过试样密封圈对试样进行夹持，夹板上穿设有电极穿孔，其中一块夹板的外侧分别固定连接有电极液容器Ⅰ和电极液容器Ⅱ，电极液容器Ⅰ和电极液容器Ⅱ分别与其所在侧的试样面能够形成电极液容纳腔，另一块夹板的外侧固定有电极液容器Ⅲ，电极液容器Ⅲ与其所在侧的试样面能够形成电极液容纳腔，电极液容器Ⅰ、电极液容器Ⅱ和电极液容器Ⅲ上固定有导体棒和注液管，注液管与对应的电极液容纳腔连通且其外端口上设置有密封装置。本发明还公开了利用上述装置进行电阻率的测试方法，通过向形成的电极液容纳腔内注入电极液增加与晶圆表面的接触面积进行电阻的测试。

主权项：1.一种用于测试晶圆形固体衬底电阻率的装置，其特征在于：包括相对设置的夹板，夹板为绝缘材质，两块夹板能够通过连接件固定连接在一起，两块夹板上穿设有相对设置的电极穿孔，夹板的内侧面且位于电极穿孔的外围绕电极穿孔环设有试样密封圈，夹板通过试样密封圈能够对待测试样进行密封夹持，其中一块夹板的外侧设置电极液容器Ⅰ和电极液容器Ⅱ，电极液容器Ⅱ为环状结构，电极液容器Ⅰ位于电极液容器Ⅱ的内侧，电极液容器Ⅰ和电极液容器Ⅱ相隔设置，另一块夹板的外侧设置有电极液容器Ⅲ，电极液容器Ⅰ、电极液容器Ⅱ和电极液容器Ⅲ均为导电材质，电极液容器Ⅰ、电极液容器Ⅱ和电极液容器Ⅲ的内侧分别凹设有电极液容纳孔，位于电极液容器Ⅱ上的电极液容纳孔为绕电极液容器Ⅰ设置的环形孔，位于电极液容器Ⅲ上的电极液容纳孔的孔底凸起形成有一圈凸环，凸环上穿设有多个用于连通凸环内外的通孔，电极液容器Ⅰ的内侧穿过于其所在侧的电极穿孔以能够密封抵接在待测试样上，电极液容器Ⅱ位于其上电极液孔内侧的部分穿过于其所在侧的电极穿孔以能够密封抵接在待测试样上，电极液容器Ⅱ位于其上电极液孔外侧的部分密封抵接在其所在侧的夹板上，凸环穿过于其所在测的电极穿孔以能够密封抵接在待测试样上，电极液容器Ⅲ的内侧密封抵接在其所在侧的夹板上，电极液容器Ⅰ、电极液容器Ⅱ和电极液容器Ⅲ的外侧面上分别固定连接有导体棒和注液管，导体棒为导电材质，注液管与其对应的电极液容纳孔连通，注液管的外端部设置有用于对其进行密封的密封装置，夹板上设置有用于使电极液容器Ⅰ、电极液容器Ⅱ和电极液容器Ⅲ固定连接在对应的夹板上的固定装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 用于测试晶圆形固体衬底电阻率的装置及其测试方法

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