申请/专利权人：杭州电子科技大学

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802461A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/20;C23C14/04;C23C14/58;C23C14/54;A61B5/024;A61B5/11;A61B5/00;G01B7/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种基于周期性梯度裂纹阵列的柔性应变传感器的制备方法。先将掩模板悬空固定于基底上方，放入溅射仪的真空腔内，将靶材固定于阴极上，基底置于正对靶面的阳极上，抽真空后，通入惰性气体，采用溅射法制备周期性厚度梯度薄膜。传统柔性应变传感器因为其薄膜结构单一，高灵敏度和高拉伸性很难同时具备。而本发明设计的制备方法利用掩模板和薄膜沉积等技术，制备出的薄膜具备周期性的厚度梯度，在拉伸时会产生周期性梯度裂纹阵列。此制备的柔性应变传感器在多重应用场景的实用价值，周期性厚度梯度可使薄膜表面产生周期性的力学行为，在柔性电子材料与器件领域具有广阔的应用前景。

主权项：1.基于周期性梯度裂纹阵列的柔性应变传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：获取掩模板和基底，所述掩模板上开设有周期性平行排列的若干条纹形网孔，所述基底包括弹性材质，将所述掩模板悬空固定于所述基底上方，放入溅射仪的真空腔内，将靶材固定于阴极上，基底置于正对靶面的阳极上，使掩模板位于基底与靶材之间，抽真空后，通入惰性气体，采用溅射法通过所述掩模板上的所述周期性排列的条纹形网孔，向所述基底上沉积靶材，在所述基底上得到周期性厚度梯度薄膜；所述掩模板与基底的距离为h，h＞0；所述条纹形网孔的线宽记为d，掩模板的长和宽记为w，通过调节所述h、w和d的取值，控制沉积到所述基底上的靶材的厚度梯度和形状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州电子科技大学 基于周期性梯度裂纹阵列的柔性应变传感器及制备与应用

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