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【发明授权】具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法_南京邮电大学_202010919184.7 

申请/专利权人:南京邮电大学

申请日:2020-09-04

公开(公告)日:2024-04-23

公开(公告)号:CN112010258B

主分类号:B81B7/04

分类号:B81B7/04;B81C1/00;H10K50/85

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.23#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要:本发明公开了一种具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法,通过改进的溶胶‑凝胶技术制备了有机‑无机复合薄膜材料,通过紫外软压印技术和二次旋涂法制备了微透镜上的微纳结构阵列,本发明将有机无机复合薄膜与微纳结构阵列结构相结合,使用紫外软压印方法得到的微纳结构阵列轮廓清晰,微纳结构阵列基本保持了模板上的形状,排列规则整齐,并没有发生大的改变,整体均匀性良好,表面光滑,没有多余的杂质,单个微透镜形貌良好,无范围性明显的缺陷,将微纳结构阵列与OLED器件相结合后,对于器件的电流效率有了较为明显的提升。

主权项:1.一种具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷和甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷作为有机前驱物,钛酸正四丁酯作为无机前驱物,搅拌混合后后通过溶胶凝胶法制备有机无机改性硅酸盐材料溶胶;(2)在溶胶中加入双2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦光引发剂,并在暗室室温下搅拌均匀得到有机无机改性硅酸盐复合薄膜材料;(3)将聚二甲基硅氧烷的前驱物与固化剂混合,充分搅拌后,静置直到所有气泡消失,得到PDMS胶体;(4)将步骤(3)的PDMS胶体倒在预处理后的AAO模板上,放入真空蒸箱中,完全固化后将其从模板上揭下,获得PDMS模板;(5)以聚萘二甲酸乙二醇酯作为衬底,将步骤(2)制备的有机无机改性硅酸盐复合薄膜材料分散滴在衬底上,采用旋涂法将有机无机改性硅酸盐材料制成薄膜;(6)将步骤(3)中制得的PDMS模板按压在步骤(5)中制得薄膜上,压印后进行紫外曝光,完全固化后,将PDMS模板从薄膜上揭下,得到具有微纳结构阵列薄膜;(7)微纳结构阵列薄膜吸附在匀胶机上,将步骤(2)中制备的有机无机改性硅酸盐复合薄膜材料滴加在微纳结构阵列薄膜中心处,采用旋涂法旋涂,形成一层薄膜覆盖在微纳结构阵列上,进行紫外固化后进行烘干,得到双层微纳结构阵列薄膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 南京邮电大学 具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法

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