申请/专利权人：深圳市美格真空科技有限公司

申请日：2024-02-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802575A

主分类号：C30B25/00

分类号：C30B25/00;C30B29/16;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及热处理设备技术领域，公开了一种沉积炉、生产设备及气相沉积制备方法。沉积炉包括反应仓、过渡仓和沉积仓，反应仓设置有第一腔，第一腔被配置为具有第一温度T1；过渡仓设置有第二腔，第二腔被配置为具有第二温度T2；沉积仓设置有第三腔，第三腔用于沉积结晶，第三腔被配置为具有第三温度T3；其中，第一腔、第二腔和第三腔依次连通，满足：T1＜T2＜T3。通过在反应仓和沉积仓之间设置有过渡仓，并通过控制温度差实现三温区设置，能够使得原料在反应仓内蒸发后，蒸气先经过过渡仓再到达沉积仓，使得随着蒸气运动的原料粉末留置在过渡仓内，降低原料粉末进入沉积仓内的几率，确保沉积仓内的结晶的纯度达标，确保产品良率。

主权项：1.沉积炉，其特征在于，包括：加热组件，包括第一加热件和第二加热件；反应仓，设置有第一腔，所述第一腔用于容置原料，所述第一加热件设置于所述反应仓的外侧，所述第一加热件用于将所述反应仓加热至具有第一温度T1；过渡仓，设置有第二腔，所述第二加热件设置于所述过渡仓的外侧，所述第二加热件用于将所述第二腔加热至具有第二温度T2；沉积仓，设置有第三腔，所述第三腔用于沉积结晶，所述第二加热件能够将所述第三腔加热至具有第三温度T3；第一真空泵，连通于所述第三腔，用于提供负压；其中，所述第一腔、所述第二腔和所述第三腔依次连通，满足：T1＜T2＜T3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市美格真空科技有限公司 沉积炉、生产设备及气相沉积制备方法

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