申请/专利权人：苏州美图半导体技术有限公司

申请日：2019-05-15

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN110052370B

主分类号：B05C11/02

分类号：B05C11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2019.08.20#实质审查的生效;2019.07.26#公开

摘要：本发明涉及一种匀胶装置，尤其是一种匀胶机真空匀胶装置，属于微纳米的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述匀胶机真空匀胶装置，包括托盘以及若干设置于所述托盘中心区的真空槽道区；在所述托盘内还设置大气槽道，所述大气槽道位于真空槽道区的外圈，且大气槽道环绕包围所述真空槽道区，在大气槽道内设置若干大气槽道孔，所述大气槽道孔贯通与大气槽道对应的托盘。本发明结构紧凑，能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞，使用方便，安全可靠。

主权项：1.一种匀胶机真空匀胶装置，包括托盘（1）以及若干设置于所述托盘（1）中心区的真空槽道区；其特征是：在所述托盘（1）内还设置大气槽道（9），所述大气槽道（9）位于真空槽道区的外圈，且大气槽道（9）环绕包围所述真空槽道区，在大气槽道（9）内设置若干大气槽道孔（10），所述大气槽道孔（10）贯通与大气槽道（9）对应的托盘（1）；所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道（11），所述真空槽道（11）通过槽道连接槽（12）相互连通，在托盘（1）的中心区设置托盘真空吸附孔（13），所述托盘真空吸附孔（13）与真空槽道（11）以及槽道连接槽（12）相连通；还包括能与托盘（1）适配连接的真空转接轴（2），所述真空转接轴（2）能伸入托盘（1）的托盘连接套（15）内，真空转接轴（2）与托盘（1）的托盘连接套（15）紧密连接；在真空转接轴（2）内设置能与托盘真空吸附孔（13）连通的转轴内吸附通道（17）；在真空转接轴（2）进入托盘连接套（15）的端部内设置储液槽（6），所述储液槽（6）位于托盘真空吸附孔（13）的下方，转轴内吸附通道（17）位于储液槽（6）的外圈；真空转接轴（2）位于托盘连接套（15）的端部内设置台阶（16），所述台阶（16）能与储液槽（6）、转轴内吸附通道（17）以及托盘真空吸附孔（13）连通；还包括能与真空转接轴（2）适配的电机轴（8），所述电机轴（8）能嵌置在真空转接轴（2）内且电机轴（8）与真空转接轴（2）紧密接触；在真空转接轴（2）的下部套有真空法兰（4），在真空法兰（4）内设置密封环（3），通过密封环（3）能密封真空法兰（4）与真空转接轴（2）间的结合部。

全文数据：匀胶机真空匀胶装置技术领域本发明涉及一种匀胶装置，尤其是一种匀胶机真空匀胶装置，属于微纳米的技术领域。背景技术在MEMS领域，匀胶是光刻工艺的基本步骤之一。目前的匀胶机在使用过程中经常会出现真空管路进胶，堵塞真空阀或真空泵等问题，解决方案通常是更换新的配件，从而会导致使用成本增加，降低使用效率。发明内容本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种匀胶机真空匀胶装置，其结构紧凑，能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞，使用方便，安全可靠。按照本发明提供的技术方案，所述匀胶机真空匀胶装置，包括托盘以及若干设置于所述托盘中心区的真空槽道区；在所述托盘内还设置大气槽道，所述大气槽道位于真空槽道区的外圈，且大气槽道环绕包围所述真空槽道区，在大气槽道内设置若干大气槽道孔，所述大气槽道孔贯通与大气槽道对应的托盘。所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道，所述真空槽道通过槽道连接槽相互连通，在托盘的中心区设置托盘真空吸附孔，所述托盘真空吸附孔与真空槽道以及槽道连接槽相连通。还包括能与托盘适配连接的真空转接轴，所述真空转接轴能伸入托盘的托盘连接套内，真空转接轴与托盘的托盘连接套紧密连接；在真空转接轴内设置能与托盘真空吸附孔连通的转轴内吸附通道。在真空转接轴进入托盘连接套的端部内设置储液槽，所述储液槽位于托盘真空吸附孔的下方，转轴内吸附通道位于储液槽的外圈。真空转接轴位于托盘连接套的端部内设置台阶，所述台阶能与储液槽、转轴内吸附通道以及托盘真空吸附孔连通。还包括能与真空转接轴适配的电机轴，所述电机轴能嵌置在真空转接轴内且电机轴与真空转接轴紧密接触；在真空转接轴的下部套有真空法兰，在真空法兰内设置密封环，通过密封环能密封真空法兰与真空转接轴间的结合部。在真空法兰内设置能与转轴内吸附通道连通的法兰吸附通道，在真空法兰内还设置密封垫，所述密封垫能套在电机轴上。所述电机轴、真空转接轴以及托盘间呈同轴分布。所述密封垫、密封环均采用特氟龙材料制成。本发明的优点：在真空槽道区的外圈设置大气槽道，大气槽道内设置大气槽道孔，利用大气槽道孔能使得大气槽道内的气压与大气压相同，即硅片与托盘接触的边缘位置处的压强与大气槽道内的压强相同，两个位置不存在压差，因此，光刻胶不会进入托盘1的真空槽道区内，避免了光刻胶通过真空槽道区进而导致真空阀和真空泵内的堵塞；利用储液槽也能实现对光刻胶的存储，从而能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞，使用方便，安全可靠。附图说明图1为本发明的立体图。图2为本发明的剖视图。图3为图2中A的放大图。附图标记说明：1-托盘、2-真空转接轴、3-密封环、4-真空法兰、5-密封垫、6-储液槽、7-硅片、8-电机轴、9-大气槽道、10-大气槽道孔、11-真空槽道、12-槽道连接槽、13-托盘真空吸附孔、14-法兰吸附通道、15-托盘连接套、16-台阶、17-转轴内吸附通道以及18-转轴限位板。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。如图1、图2和图3所示：为了能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞，本发明包括托盘1以及若干设置于所述托盘1中心区的真空槽道区；在所述托盘1内还设置大气槽道9，所述大气槽道9位于真空槽道区的外圈，且大气槽道9环绕包围所述真空槽道区，在大气槽道9内设置若干大气槽道孔10，所述大气槽道孔10贯通与大气槽道9对应的托盘1。具体地，托盘1呈圆盘状，真空槽道区位于托盘1的中心区，通过真空槽道区能实现对托盘1上硅片7的吸附，大气槽道9在托盘1内位于真空槽道区的外圈，大气槽道9环绕包围真空槽道区，在大气槽道9内设置大气槽道孔10，大气槽道孔10贯通托盘1。当硅片7吸附在托盘1上时，硅片7的外圈边缘位于大气槽道9的外圈，此时，硅片7与托盘1接触的边缘位置处的压强与大气槽道9内的压强相同，两个位置不存在压差，因此，光刻胶不会进入托盘1的真空槽道区内，避免了光刻胶通过真空槽道区进而导致真空阀和真空泵内的堵塞。此外，大气槽道9的区域远小于真空槽道区的面积，因此，不会影响将硅片7吸附在托盘1上，即使得硅片7能跟随托盘1高速转动。进一步地，所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道11，所述真空槽道11通过槽道连接槽12相互连通，在托盘1的中心区设置托盘真空吸附孔13，所述托盘真空吸附孔13与真空槽道11以及槽道连接槽12相连通。本发明实施例中，真空槽道11呈环形，真空槽道11间通过呈十字型的槽道连接槽12相互连通，真空吸附孔13与真空槽道11以及槽道连接槽12连通，从而通过通过真空吸附孔13能在真空槽道11以及槽道连接槽12内产生能对硅片7进行吸附的负压。进一步地，还包括能与托盘1适配连接的真空转接轴2，所述真空转接轴2能伸入托盘1的托盘连接套15内，真空转接轴2与托盘1的托盘连接套15紧密连接；在真空转接轴2内设置能与托盘真空吸附孔13连通的转轴内吸附通道17。本发明实施例中，在托盘1的背面设置托盘连接套15，真空转接轴2能进入托盘连接套15内，通过真空转接轴2与托盘连接套15的紧密连接，能实现真空转接轴2与整个托盘1之间的紧固连接。真空转接轴2内设置转轴内吸附通道17，即通过转轴内吸附通道17能方便与外部的真空系统连接，即通过在转轴内吸附通道17内产生真空状态，进而能使得托盘真空吸附孔13内产生真空状态。进一步地，在真空转接轴2进入托盘连接套15的端部内设置储液槽6，所述储液槽6位于托盘真空吸附孔13的下方，转轴内吸附通道17位于储液槽6的外圈。本发明实施例中，储液槽6位于真空转接轴2内，储液槽6位于托盘真空吸附孔13的下方，储液槽6与转轴内吸附通道17以及托盘真空吸附孔13连通，当有光刻胶进入真空槽道11内进而进入托盘真空吸附孔13内时，进入托盘真空吸附孔13内的光刻胶能落入储液槽6内，避免光刻胶进入转轴内吸附通道17内，进一步能避免光刻胶对真空阀以及真空泵的堵塞。具体实施时，真空转接轴2位于托盘连接套15的端部内设置台阶16，所述台阶16能与储液槽6、转轴内吸附通道17以及托盘真空吸附孔13连通。本发明实施例中，通过台阶16能实现储液槽6与转轴内吸附通道17的连通，利用台阶16也能提高储液槽6对光刻胶的存储能力，即非正常操作导致有少量胶进入托盘1，那么进入托盘1的的胶会掉入储液槽6而不会进入真空气路。进一步地，还包括能与真空转接轴2适配的电机轴8，所述电机轴8能嵌置在真空转接轴2内且电机轴8与真空转接轴2紧密接触；在真空转接轴2的下部套有真空法兰4，在真空法兰4内设置密封环3，通过密封环3能密封真空法兰4与真空转接轴2间的结合部。本发明实施例中，所述电机轴8、真空转接轴2以及托盘1间呈同轴分布。转轴内吸附通道17在真空转接轴2的长度小于真空转接轴2的长度，在真空转接轴2上设置转接限位板18，利用转接限位板18能与真空法兰4配合。真空转接轴2用于连接托盘1与电机轴8，真空转接轴2、托盘1在电机轴8带动下能做高速旋转运动。在真空法兰4内设置能与转轴内吸附通道17连通的法兰吸附通道14，在真空法兰4内还设置密封垫5，所述密封垫5能套在电机轴8上。本发明实施例中，密封环3、密封垫5采用特氟龙材质制成，安装在真空法兰4内，起密封作用。

权利要求：1.一种匀胶机真空匀胶装置，包括托盘（1）以及若干设置于所述托盘（1）中心区的真空槽道区；其特征是：在所述托盘（1）内还设置大气槽道（9），所述大气槽道（9）位于真空槽道区的外圈，且大气槽道（9）环绕包围所述真空槽道区，在大气槽道（9）内设置若干大气槽道孔（10），所述大气槽道孔（10）贯通与大气槽道（9）对应的托盘（1）。2.根据权利要求1所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道（11），所述真空槽道（11）通过槽道连接槽（12）相互连通，在托盘（1）的中心区设置托盘真空吸附孔（13），所述托盘真空吸附孔（13）与真空槽道（11）以及槽道连接槽（12）相连通。3.根据权利要求2所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：还包括能与托盘（1）适配连接的真空转接轴（2），所述真空转接轴（2）能伸入托盘（1）的托盘连接套（15）内，真空转接轴（2）与托盘（1）的托盘连接套（15）紧密连接；在真空转接轴（2）内设置能与托盘真空吸附孔（13）连通的转轴内吸附通道（17）。4.根据权利要求3所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：在真空转接轴（2）进入托盘连接套（15）的端部内设置储液槽（6），所述储液槽（6）位于托盘真空吸附孔（13）的下方，转轴内吸附通道（17）位于储液槽（6）的外圈。5.根据权利要求4所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：真空转接轴（2）位于托盘连接套（15）的端部内设置台阶（16），所述台阶（16）能与储液槽（6）、转轴内吸附通道（17）以及托盘真空吸附孔（13）连通。6.根据权利要求3所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：还包括能与真空转接轴（2）适配的电机轴（8），所述电机轴（8）能嵌置在真空转接轴（2）内且电机轴（8）与真空转接轴（2）紧密接触；在真空转接轴（2）的下部套有真空法兰（4），在真空法兰（4）内设置密封环（3），通过密封环（3）能密封真空法兰（4）与真空转接轴（2）间的结合部。7.根据权利要求6所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：在真空法兰（4）内设置能与转轴内吸附通道（17）连通的法兰吸附通道（14），在真空法兰（4）内还设置密封垫（5），所述密封垫（5）能套在电机轴（8）上。8.根据权利要求6所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：所述电机轴（8）、真空转接轴（2）以及托盘（1）间呈同轴分布。9.根据权利要求7所述的匀胶机真空匀胶装置，其特征是：所述密封垫（5）、密封环（3）均采用特氟龙材料制成。

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