申请/专利权人：武汉欧毅光学有限公司

申请日：2022-06-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115079404B

主分类号：G02B26/10

分类号：G02B26/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明公开了一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统，其特征在于，由依次设置的激光光源、光束整形镜、一维振镜、“4f系统”模块A透镜、“4f系统”模块B透镜、二维振镜A反射镜、二维振镜B反射镜、远心光路模块组成；激光振镜扫描系统用于实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步运行功能；本发明将一维振镜加“4f系统“的组合引入到传统的二维振镜扫描系统中实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步高速运行，在引入局域一维扫描后可以极大地丰富检测的扫描模式，为多参数同时检测提供了可能，扩大了振镜系统的应用场景。

主权项：1.一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统，其特征在于，由依次设置的激光光源1、光束整形镜2、一维振镜3、“4f系统”模块A透镜4、“4f系统”模块B透镜5、二维振镜A反射镜6、二维振镜B反射镜7、远心光路模块8组成；所述激光振镜扫描系统用于实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步运行功能。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉欧毅光学有限公司 一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统

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