申请/专利权人：美国亚德诺半导体公司

申请日：2021-06-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113758477B

主分类号：G01C19/5747

分类号：G01C19/5747

优先权：["20200605 US 16/894,717"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.12.24#实质审查的生效;2021.12.07#公开

摘要：本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统MEMS装置例如陀螺仪。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。

主权项：1.陀螺仪，包括：第一列，包括线性布置在第一平面中并被配置为感测绕第一旋转轴运动的三个检测质量块；与所述第一列相邻的第二列，所述第二列包括线性布置在所述第一平面中并被配置为感测绕第二旋转轴运动的三个检测质量块；和多个驱动器阵列，所述多个驱动器阵列包括：与所述第一列耦合的第一驱动器阵列，所述第一驱动器阵列被配置为引起所述第一列的三个检测质量块在所述第一平面内的运动；和与所述第二列和所述第一驱动器阵列耦合的第二驱动器阵列，所述第二驱动器阵列被配置为引起所述第二列的三个检测质量块在所述第一平面内的运动，其中所述第一驱动器阵列与所述第一列的三个检测质量块并排布置，并且所述第二驱动器阵列与所述第二列的三个检测质量块并排布置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 美国亚德诺半导体公司 具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪

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