申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2019-07-22

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112470349B

主分类号：H01S3/09

分类号：H01S3/09

优先权：["20180723 DE 102018212224.5"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.03.09#公开

摘要：自由电子激光器35包括用于反馈发射的照明辐射5的反馈装置36。

主权项：1.一种用于投射曝光系统1或计量系统的辐射源4，包括：1.1.自由电子激光器FEL35，其发射具有至多30nm的波长的照明辐射，以及1.2.用于将发射的照明辐射5反馈到激光源35的装置36，包括：1.2.1.用于从束路径耦合出照明辐射5的至少一个光学部件M1，和1.2.2.用于将所耦合出的照明辐射5的至少一部分耦合到所述激光源35中的至少一个光学部件，1.3.衍射光学元件，其被配置为分离所述发射的照明辐射的一衍射级，并且将所述发射的照明辐射的分离的衍射级发送到所述用于将所耦合出的照明辐射5的至少一部分耦合到所述激光源35中的至少一个光学部件，以及1.4.其中，所述发射的照明辐射的分离出的衍射级包括所述发射的辐射的零级衍射级。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 辐射源和用于将发射的辐射反馈到激光源的装置

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