申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-01-03

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN111415905B

主分类号：H01L21/78

分类号：H01L21/78;H01L21/67;H01L21/02;H01L21/28

优先权：["20190107 JP 2019-000838"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.12.24#实质审查的生效;2020.07.14#公开

摘要：提供喷水加工装置和喷水加工方法，能够抑制因水汽的附着而导致的加工精度的降低。喷水加工装置1具有：卡盘工作台10，其包含对被加工物200进行保持的保持面11；加工液喷射喷嘴30，其具有向卡盘工作台10所保持的被加工物200喷射加工液300的喷射口；以及水壁形成单元40，其包含以围绕喷射口的方式配置的水壁形成液喷射部60，从水壁形成液喷射部60朝向被加工物200喷出水壁形成液301而形成水壁302。

主权项：1.一种喷水加工装置，其具有：保持构件，其包含对被加工物进行保持的保持面；加工液喷射喷嘴，其具有向该保持构件所保持的被加工物喷射加工液的喷射口；以及水壁形成构件，其包含以围绕该喷射口的方式配置的水壁形成液喷射部，从该水壁形成液喷射部朝向被加工物喷出水壁形成液而形成水壁，该水壁形成构件具有：环状部件，其形成为内径比该加工液喷射喷嘴的前端面的外径大的圆环状且安装于该加工液喷射喷嘴，并且该环状部件与该加工液喷射喷嘴同轴配置，该环状部件的与该被加工物对置的面是平坦的且该环状部件的内缘与外缘之间的宽度比该喷射口的宽度大，并且该水壁形成液喷射部的喷出该水壁形成液的贯通孔在该环状部件的与该被加工物对置的面上开口；以及其他环状部件，其安装于该加工液喷射喷嘴的外周面和该环状部件，并且具有与该贯通孔连通且提供该水壁形成液的收纳凹部，将该环状部件的该面距该被加工物的距离设为在该环状部件的该面与该被加工物之间充满该水壁形成液的规定的距离，从该加工液喷射喷嘴喷射该加工液并从该水壁形成液喷射部喷出该水壁形成液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 喷水加工装置和喷水加工方法

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