申请/专利权人：包头晶澳太阳能科技有限公司

申请日：2022-08-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115341279B

主分类号：C30B27/02

分类号：C30B27/02;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.12.02#实质审查的生效;2022.11.15#公开

摘要：本申请公开了一种单晶断棱线处理方法及单晶棒，其中处理方法包括如下步骤：步骤S11、在单晶提断后，增加真空泵阀及管道控制阀的阀门开度；步骤S12、控制坩埚下降，使所述单晶棒的底端与硅液面的距离保持在25‑35mm之间，并保持加热功率不变；步骤S13、对所述单晶棒进行提拉，提拉至少30分钟后，升高所述加热功率至80‑90kw之间；通过增加真空泵阀及管道控制阀的阀门开度、坩埚下降的精准范围值以及升温的时机，能够避免单晶提断后断面变色、挥发物附着的情况出现，继而降低了原料回收处理的难度，降低了原料处理的成本，增大了生产效益。

主权项：1.一种单晶断棱线处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S11、在单晶提断后，增加真空泵阀及管道控制阀的阀门开度，使真空泵阀和管道控制阀的阀门开度由半开状态调整为全开状态；步骤S12、控制坩埚下降30-40mm，使单晶棒的底端与硅液面的距离保持在25-35mm之间，并保持加热功率不变；步骤S13、对所述单晶棒进行提拉，提拉至少30分钟后，升高所述加热功率至80-90kw之间；所述步骤S13包括：步骤S131，以第一提拉速度提拉所述单晶棒30分钟后，所述单晶棒的底端进入水冷热屏，所述第一提拉速度为260-280mmh；步骤S132，继续提拉所述单晶棒至所述单晶棒离开水冷热屏，并同时升高加热功率至80-90kw之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 包头晶澳太阳能科技有限公司 一种单晶断棱线处理方法及单晶棒

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