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【发明授权】一种MEMS气体压力传感器用封口装置及其封口方法_无锡芯感智半导体有限公司_202410102956.6 

申请/专利权人:无锡芯感智半导体有限公司

申请日:2024-01-25

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117622588B

主分类号:B65B7/16

分类号:B65B7/16;B65B51/14;B65B61/10;B65B65/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.02#授权;2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要:本发明公开了一种MEMS气体压力传感器用封口装置及其封口方法,用于解决人工对MEMS气体压力传感器进气口处贴合包装精准度较差,且整体封口效率低的问题;本发明是通过电机转动带动转轴以及转架同时转动,转轴转动时实现支柱上活动块以及传动块的上下活动,从而将传动块底部按压头下压至蓝膜的顶部,对于传动块的下降同时带动齿柱接触传动齿一,使得转动的传动齿一带动齿块侧存放块上升并接触传送带上MEMS气体压力传感器,将整个MEMS气体压力传感器抬起的同时完成对蓝膜两侧的抵接,最终实现蓝膜在MEMS气体压力传感器顶部的贴合,由于在整个MEMS气体压力传感器进气口上进行蓝膜切割贴合,整体贴合精度提高。

主权项:1.一种MEMS气体压力传感器用封口装置,包括放置台(1)、支柱(2)和顶板(3),所述放置台(1)的顶部两侧对称固定有支柱(2),且位于支柱(2)的顶部通过螺栓固定有顶板(3),其特征在于,两根所述支柱(2)上套设滑动连接有活动块(10),且位于活动块(10)底部支柱(2)上滑动连接有传动机构(11);所述传动机构(11)包括传动块(111)、按压头(112)、转臂一(114)、转臂二(115)和齿柱(118),所述支柱(2)上滑动连接有传动块(111),且位于传动块(111)的底部通过螺栓固定有按压头(112),所述按压头(112)上安装有熔断丝(113),所述传动块(111)的两侧通过轴承分别转动连接有转臂一(114)和转臂二(115),且位于转臂二(115)的底部转动连接有联动杆(116),所述联动杆(116)的一端与转臂一(114)的一侧相连接,所述转臂一(114)与转臂二(115)的相对侧安装有弹簧一(117),所述传动块(111)的两侧通过点焊对称固定有齿柱(118);所述传动块(111)的一侧通过螺栓固定有调节箱(12),所述转臂一(114)的一侧贯穿调节箱(12)一侧并与调节箱(12)滑动连接,所述调节箱(12)内通过轴承活动连接有凸轮(13),且位于凸轮(13)的一侧与转臂一(114)相抵接;所述放置台(1)的两侧内壁对称开设有通槽(21),所述放置台(1)内对称开设有空腔(19),且位于空腔(19)的一侧与通槽(21)相连通,所述空腔(19)内且位于通槽(21)的一侧滑动连接有齿块(22),两个所述齿块(22)的相对面通过螺栓固定有存放块(18),所述空腔(19)的内壁通过轴承活动连接有传动齿一(20),所述齿柱(118)的一端贯穿放置台(1)并延伸至空腔(19)内,所述齿柱(118)位于空腔(19)内的一侧与传动齿一(20)啮合连接,且位于传动齿一(20)的另一侧与齿块(22)啮合连接;两个所述支柱(2)的外壁套设固定有固定箱(4),且位于固定箱(4)的顶部通过螺栓固定有电机(5),所述顶板(3)的顶部通过轴承活动连接有转轴(6),且位于转轴(6)的一端套设固定有皮带轮一(7),所述转轴(6)的另一端套设固定有转盘(8),所述转盘(8)的一侧通过轴承活动连接有转杆(9),且位于转杆(9)的一端与活动块(10)的顶部活动连接;所述传动块(111)的底部且位于支柱(2)上套设安装有弹簧二(14),所述放置台(1)的顶部通过螺栓固定有放膜板(15),且位于放膜板(15)上开设有通孔(16),所述放置台(1)内且位于放膜板(15)底部安装有传送带(17),所述放置台(1)的两侧内壁通过轴承活动连接有卷膜辊(23)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 无锡芯感智半导体有限公司 一种MEMS气体压力传感器用封口装置及其封口方法

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