申请/专利权人：泰克诺探头公司

申请日：2019-05-14

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112119315B

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073;G01R1/067

优先权：["20180516 IT 102018000005444"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.05.28#实质审查的生效;2020.12.22#公开

摘要：一种用于电子器件的测试设备的探针卡，包括：支撑板23；适于在被测器件和支撑板23之间传送高频信号的柔性膜24，所述柔性膜24通过外围区域24b连接至支撑板23；布置在支撑板23和柔性膜24之间并适于缓冲对被测器件的抵靠的阻尼结构21；以及包括在第一端26a和第二端26b之间延伸的主体26'的多个微接触探针26，所述第二端26b适于抵靠在被测器件的接触垫27上，其中，阻尼结构21和微接触探针26的第一端26a与柔性膜24的同一接触区域24a的相反两面Fa，Fb接触。适当地，柔性膜24包括至少一个弱化区域24c，其布置在接触区域24a和外围区域24b之间并与之相邻，所述弱化区域24c包括至少一个弱化元件28，其适于机械地弱化柔性膜24并局部增强其可变形性。

主权项：1.一种用于电子器件的测试设备的探针卡20，包括：支撑板23；柔性膜24，适于在被测器件和所述支撑板23之间传送高频信号，所述柔性膜24通过其外围区域24b连接至所述支撑板23；阻尼结构21，布置在所述支撑板23和所述柔性膜24之间，所述阻尼结构21适于缓冲对所述被测器件的抵靠；以及多个微接触探针26，包括在第一端26a和第二端26b之间延伸的主体26'，所述第二端26b适于抵靠在所述被测器件的接触垫27上，其中，所述阻尼结构21和所述微接触探针26的第一端26a分别与所述柔性膜24的同一接触区域24a的第一面Fa和相反的第二面Fb接触，其中，所述柔性膜24包括布置在所述接触区域24a和所述外围区域24b之间并与所述接触区域和所述外围区域相邻的至少一个弱化区域24c，所述弱化区域24c包括适于机械地弱化所述柔性膜24并局部增强所述柔性膜24的可变形性的至少一个弱化元件28，并且其中，所述弱化元件28为多个切口的形式，或为所述弱化区域24c中的柔性膜24的至少一个非贯穿槽的形式。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泰克诺探头公司 高频高性能探针卡

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