申请/专利权人：东屹半导体科技(江苏)有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117463645B

主分类号：B07C5/36

分类号：B07C5/36

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明提供了用于半导体分选一体机的自动控制方法及系统，涉及数据处理技术领域，通过接收待分选半导体图像和基准半导体图像识别生成关联抓手位置标识以调取多个真空吸盘抓手执行抓取定位控制并采集抓手定位图像，进而基于分选抓手定位图像信息确定抓手坐标偏离系数，当偏离系数小于或等于坐标偏离系数阈值时，激活多个真空吸盘抓手执行半导体分选。解决现有技术中存在基于不同类型半导体芯片抓取位置的差异性，导致传统半导体分选机无法实现多类半导体芯片的抓取方案自动化生成的技术问题。达到了根据半导体形状特征自动化分析确定进行半导体无损抓取的抓取位点信息，提高半导体分选一体机进行不特定半导体芯片的抓取灵活性的技术效果。

主权项：1.用于半导体分选一体机的自动控制方法，其特征在于，应用于半导体分选一体机的自动控制系统，所述系统内嵌于半导体分选一体机，所述半导体分选一体机具有多个真空吸盘抓手，所述系统包括抓取控制标识模块和视觉检测模块，包括：当待分选半导体输送至半导体分选一体机的第一平台，激活视觉检测模块的图像传感器采集待分选半导体图像；配置预设半导体图像库，其中，所述预设半导体图像库的任意一张基准半导体图像具有抓手位置标识，其中，所述抓手位置标识的参考坐标系部署于基准半导体图像，包括：获得预设半导体集的第一半导体，构建第一半导体数字图像；以所述第一半导体数字图像的中心位置为坐标系原点，在所述第一半导体数字图像中构建第一参考坐标系；结合所述第一参考坐标系，对所述第一半导体进行抓取配置寻优，生成第一半导体抓手位置标识，和所述第一半导体数字图像关联存储，添加进所述预设半导体图像库，包括：获得第一半导体基础信息，其中，所述第一半导体基础信息包括第一半导体重量信息和第一半导体平面区域位置标识；加载单个抓手额定重量，结合所述第一半导体重量信息，匹配抓手约束数量；以所述抓手约束数量，在所述第一半导体平面区域位置标识进行随机分布，生成抓取位置赋值结果；对所述抓取位置赋值结果进行分布均匀性评估，生成分布均匀性系数，包括：对所述抓取位置赋值结果进行两两位置距离分析，生成分布距离特征集；对所述抓取位置赋值结果进行边缘位置连线，统计圈定区域面积特征；基于所述分布距离特征集进行方差计算，生成第一分布均匀系数；计算所述圈定区域面积特征在第一半导体总面积中的占比，设为第二分布均匀系数；将所述第一分布均匀系数和所述第二分布均匀系数，添加进所述分布均匀性系数；当所述分布均匀性系数满足分布均匀性系数阈值，将所述抓取位置赋值结果设为所述第一半导体抓手位置标识；基于所述预设半导体图像库，激活抓取控制标识模块，接收待分选半导体图像和基准半导体图像进行识别，生成关联抓手位置标识；根据所述关联抓手位置标识，调取多个真空吸盘抓手执行抓取定位控制，定位完成后调取图像传感器，采集抓手定位图像信息；激活所述视觉检测模块的抓手定位坐标通道，对所述抓手定位图像信息进行分析，生成抓手定位坐标标识；激活所述视觉检测模块的坐标比对通道，对所述抓手定位坐标标识和所述关联抓手位置标识进行分析，生成抓手坐标偏离系数；当所述抓手坐标偏离系数小于或等于坐标偏离系数阈值，激活所述多个真空吸盘抓手执行半导体分选。

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权利要求：

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