申请/专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710295U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片夹紧机构和插片机系统，硅片夹紧机构用于插片机系统，硅片夹紧机构包括：框体，框体上设有容纳槽，多个待加工硅片适于沿容纳槽的长度方向堆叠于容纳槽内；夹紧组件，夹紧组件设于框体上，夹紧组件包括沿容纳槽的长度方向排布的多个夹紧件，多个夹紧件可运动地设于框体上，多个夹紧件用于夹持位于容纳槽内的多个待加工硅片。根据本实用新型的硅片夹紧机构，能够确保对待加工硅片固定可靠，且便于多个待加工硅片的整体移动，有利于降低人工成本，提高生产效率。

主权项：1.一种硅片夹紧机构，其特征在于，用于插片机系统，所述硅片夹紧机构包括：框体，所述框体上设有容纳槽，多个待加工硅片适于沿所述容纳槽的长度方向堆叠于所述容纳槽内；夹紧组件，所述夹紧组件设于所述框体上，所述夹紧组件包括沿所述容纳槽的长度方向排布的多个夹紧件，多个所述夹紧件可运动地设于所述框体上，多个所述夹紧件用于夹持位于所述容纳槽内的多个所述待加工硅片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 硅片夹紧机构和插片机系统

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