申请/专利权人：福建金石能源有限公司

申请日：2023-08-11

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703783U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统，包括旋转圆柱靶装置，引弧装置，可活动遮罩装置，主体与电控装置和匀气装置；旋转圆柱靶装置包括处于中间的磁轴和靶材；磁轴包括固定轴、固定压紧块、调节螺母座、固定螺杆、导磁板、磁棒、连接轴套、支撑块、转动连接头一、转动连接头二和导磁遮罩；引弧装置包括钨极、连接块、加长杆、主轴、防镀遮罩、压板、筒座、绝缘垫、导向轴、弹簧压块、绝缘压块、气缸、气缸固定座和接线端头；可活动遮罩装置包括固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩、无油衬套；该设计优化镀膜源系统结构，安装拆卸快捷，引弧更加高效，合理磁场及导磁设计，放电稳定，提高靶材利用率，从而提升成膜质量。

主权项：1.一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统，其特征在于：包括旋转圆柱靶装置，引弧装置，可活动遮罩装置，主体与电控装置和匀气装置；所述旋转圆柱靶装置包括处于中间的磁轴和靶材、分别位于两端的从动端头组件与主动端头组件和伺服电机；所述伺服电机的输出轴上安装有主动皮带轮，通过皮带将主动皮带轮与主动端头组件内部的从动皮带轮相连接；所述磁轴包括固定轴、固定压紧块、调节螺母座、固定螺杆、导磁板、磁棒、连接轴套、支撑块、转动连接头一、转动连接头二和导磁遮罩；所述固定轴的两端分别与转动连接头一和转动连接头二相连接；固定轴中间装有支撑块穿入螺钉并用螺母固定，两支撑块中间装有定距轴套和转动轴套穿入螺钉并用螺母固定；多个固定螺杆分别固定于导磁板上，再穿过固定轴并通过调节螺母座和固定压紧块进行固定；磁棒吸附到导磁板上，并用导磁遮罩遮挡住磁棒；所述引弧装置包括钨极、连接块、加长杆、主轴、防镀遮罩、压板、筒座、绝缘垫、导向轴、弹簧压块、绝缘压块、气缸、气缸固定座和接线端头；导向轴装入筒座中放入压缩弹簧并用弹簧压块压住；导向轴未端固定有绝缘压块，绝缘压块上安装有导向轴上，导向轴前端连接有加长杆、连接块、钨极；所述可活动遮罩装置包括固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩、无油衬套、固定插销和R形销；固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩连接耳孔分别安装上无油衬套，再通过固定插销和R形销固定连接。

全文数据：

权利要求：

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