申请/专利权人：苏州斯玛图智能设备有限责任公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710284U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供了一种硅片缓存单元、缓存组件及缓存机构，目的是解决现有缓存机构如果挡边或者锯齿坏掉一个，整个板都需要更换，成本高的技术问题。该缓存机构包括模组及硅片缓存组件；模组与硅片缓存组件驱动连接，以驱动硅片缓存组件在预设的方向上移动；缓存组件包括组装在上安装梁和下安装梁之间的多个硅片缓存单元；缓存单元包括缓存架，内部形成有储存空间；储存空间内部两侧分别设置有多个可拆卸的且用于对硅片起承载作用的存放件；多个存放件形成多个用于存放硅片的存放格。本实用新型通过在安装板上拆卸连接多个存放件，当个别存放件出现损坏时，只需要对损坏的存放件进行更换即可，无需将整个安装板进行更换，成本低，更换速度快。

主权项：1.硅片缓存单元，其特征在于，包括：缓存架（1），内部形成有储存空间（10）；所述储存空间（10）内部两侧分别设置有多个可拆卸的且用于对硅片起承载作用的存放件（20）；多个所述存放件（20）形成多个用于存放硅片的存放格（22）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州斯玛图智能设备有限责任公司 硅片缓存单元、缓存组件及缓存机构

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