申请/专利权人：苏州斯玛图智能设备有限责任公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710255U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供了一种硅片检测机构及硅片传输线，目的是解决现有硅片检测装置无法对偏移量很大的硅片进行识别，也没有在传输线前端将大角度硅片剔除的技术问题。该装置包括：机架；第一传输带，安装于所述机架上；检测组件，包括四个第一检测板和设置于所述第一检测板一端的第一传感器，四个第一检测板两两为一组分别设置于所述第一传输带两侧，且四个第一传感器分别与第一传输带上的硅片的四个角位置相对应。本实用新型检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片，还能对偏移量很大的硅片进行识别，通过将大角度产品识别出来，能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。

主权项：1.一种硅片检测机构，其特征在于，包括：机架（11）；第一传输带（12），安装于所述机架（11）上；检测组件（13），包括四个第一检测板（131）和设置于所述第一检测板（131）一端的第一传感器（132），四个第一检测板（131）两两为一组分别设置于所述第一传输带（12）两侧，且四个第一传感器（132）分别与第一传输带（12）上的硅片的四个角位置相对应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州斯玛图智能设备有限责任公司 一种硅片检测机构及硅片传输线

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