申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117845172A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C22F1/04;B21J5/00;B21B3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种LCD平面铝靶材及其制备方法，所述制备方法包括：将高纯铝锭依次进行第一预热、第一锻造、第一热处理、第二锻造、热轧和第二热处理；所述第一锻造的压力为3000‑6000t；所述第二锻造的压力为3000‑6000t。本发明通过预热、锻造、热处理和热轧相结合的方法，并进一步控制两次锻造的压力，将高纯铝锭加工成坯料，得到晶粒组织分布均匀、晶粒尺寸≤90μm的靶材，且成材率高，满足LCD制造用溅射靶材对于晶粒尺寸和内部组织均匀性的双重要求，具有优良的溅射性能。

主权项：1.一种LCD平面铝靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将高纯铝锭依次进行第一预热、第一锻造、第一热处理、第二锻造、热轧和第二热处理；所述第一锻造的压力为3000-6000t；所述第二锻造的压力为3000-6000t。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种LCD平面铝靶材及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD