申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2022-06-28

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117859199A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;G01B11/00

优先权：["20210826 JP 2021-138130"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：治具基板200是在搬送机构12a、12b、150的示教方法中使用的治具基板200，所述治具基板200具有第一摄像机202和第二摄像机204。第一摄像机202拍摄第一图像数据，所述第一图像数据用于检测搬送机构12a、12b、150的叉120、151的位置。第二摄像机204拍摄第二图像数据，所述第二图像数据用于检测载置基板的载置台130、140的位置。

主权项：1.一种治具基板，是在搬送机构的示教方法中使用的治具基板，所述治具基板具有：第一摄像机，其拍摄第一图像数据，所述第一图像数据用于检测所述搬送机构的叉的位置；以及第二摄像机，其拍摄第二图像数据，所述第二图像数据用于检测载置基板的载置台的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 治具基板和示教方法

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