申请/专利权人：河套学院

申请日：2024-03-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117845197A

主分类号：C23C16/52

分类号：C23C16/52;C23C16/455;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及纳米材料技术领域，公开了一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统及方法，包括：气相反应控制模块，确保反应物和载气的流量比例和检测并实时调整反应气体的浓度；温度控制模块，控制反应室的温度，并根据反应情况实时调整反应室温度；反馈控制模块，使用传感器监测反应室中的参数，包括温度、气体流量，并将参数反馈发送至主控制器；沉淀物收集模块，实时监测沉淀物的质量，实时调整反应条件；主控制器：根据反馈控制模块发送到参数进行实时数据分析，来调整反应参数来对纳米材料生产进行控制，反应参数包括加热功率和气体流量；安全模块，用于检测气体泄漏并处理。通过各个模块的配合来更好的控制个体的一致性和可重复性。

主权项：1.一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统，其特征在于，包括：气相反应控制模块，用于确保反应物和载气的流量比例和检测并实时调整反应气体的浓度；温度控制模块，用于控制反应室的温度，并根据反应情况实时调整反应室温度；反馈控制模块，用于使用传感器监测反应室中的参数，包括温度、气体流量，并将所述参数反馈发送至主控制器；沉淀物收集模块，用于实时监测沉淀物的质量，实时调整反应条件；主控制器：用于根据反馈控制模块发送到参数进行实时数据分析，来调整反应参数来对纳米材料生产进行控制，所述反应参数包括加热功率和气体流量；安全模块，用于检测气体泄漏并处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河套学院 一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD