申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855086A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66;H01L21/268;H01L21/336

优先权：["20221006 KR 10-2022-0127695"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：本申请提供了激光结晶监视设备和使用其的激光结晶监视方法。激光结晶监视设备包括：台，支撑衬底；激光束发生器，向衬底发射激光束；镜，反射从激光束发生器发射的激光束并围绕旋转轴旋转；第一远心f‑θ透镜，位于镜和衬底之间的激光束路径上；第二远心f‑θ透镜，从衬底反射的激光束通过该第二远心f‑θ透镜；以及监视器，检查通过第二远心f‑θ透镜的激光束。

主权项：1.一种激光结晶监视设备，包括：台，支撑衬底；激光束发生器，向所述衬底发射激光束；镜，反射从所述激光束发生器发射的所述激光束，并且围绕旋转轴旋转；第一远心f-θ透镜，位于所述镜与所述衬底之间的激光束路径上；第二远心f-θ透镜，从所述衬底反射的所述激光束通过所述第二远心f-θ透镜；以及监视器，检查通过所述第二远心f-θ透镜的所述激光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 激光结晶监视设备及使用其的激光结晶监视方法

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