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【发明公布】弹性波装置以及弹性波装置的制造方法_株式会社村田制作所_202280056699.6 

申请/专利权人:株式会社村田制作所

申请日:2022-08-16

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN117859267A

主分类号:H03H9/25

分类号:H03H9/25;H03H9/145;H03H9/17

优先权:["20210820 US 63/235,185"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要:本发明抑制在引出电极间流过电流。弹性波装置包含:第1基板;压电层,在俯视下与第1基板重叠,具有第1主面和相反侧的第2主面;功能电极,设置在压电层的第1主面以及压电层的第2主面中的至少一者;第2基板,具有在第1方向上与压电层的第1主面对置的第1主面和相反侧的第2主面;以及多个引出电极。多个引出电极具备:支承部,在压电层的第1主面与第2基板的第1主面之间对第2基板进行支承;贯通过孔,贯通第2基板;第1连接盘,设置在第2基板的第1主面,与贯通过孔电连接;以及第2连接盘,设置在第2基板的第2主面,与贯通过孔电连接。在至少一个引出电极中,在第2基板的第1主面与第1连接盘之间、第2基板的第2主面与第2连接盘之间、以及贯通过孔的侧壁与第2基板之间具有绝缘体。

主权项:1.一种弹性波装置,包含:第1基板;压电层,在俯视下与所述第1基板重叠,具有第1主面和相反侧的第2主面;功能电极,设置在所述压电层的第1主面以及所述压电层的第2主面中的至少一者;第2基板,具有在第1方向上与所述压电层的所述第1主面对置的第1主面和相反侧的第2主面;以及多个引出电极,所述多个引出电极具备:支承部,在所述压电层的所述第1主面与所述第2基板的第1主面之间对所述第2基板进行支承;贯通过孔,贯通所述第2基板;第1连接盘,设置在所述第2基板的第1主面,与所述贯通过孔电连接;以及第2连接盘,设置在所述第2基板的第2主面,与所述贯通过孔电连接,在至少一个所述引出电极中,在所述第2基板的第1主面与第1连接盘之间、所述第2基板的第2主面与第2连接盘之间、以及所述贯通过孔的侧壁与所述第2基板之间具有绝缘体。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 弹性波装置以及弹性波装置的制造方法

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