申请/专利权人：北京七星华创流量计有限公司

申请日：2022-09-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850483A

主分类号：G05D7/06

分类号：G05D7/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种质量流量控制器及其流量控制方法，质量流量控制器中，控制模块用于在当前的流量设定值相对于上一流量设定值的变化量超出预设阈值时，根据入口压力测量模块检测的入口压力值和当前的流量设定值，预先存储的不同的入口压力值下，不同的流量设定值与流量调节阀的阀电压值的第一对应关系，获得当前的入口压力值下，与当前的流量设定值对应的阀电压值，并选择性地进入第一开度控制模式或者第二开度控制模式；控制模块还用于在第二开度控制模式中，在根据出口压力测量模块实时检测的出口压力值满足第一稳定条件后，进入流量反馈控制模式。本发明的技术方案能够在保证流量控制精度的同时，实现快速响应，同时满足不同工况下的控制需求。

主权项：1.一种质量流量控制器，包括流体通路和设置在所述流体通路上的流量传感器和流量调节阀，其特征在于，还包括入口压力测量模块、出口压力测量模块和控制模块，其中，所述入口压力测量模块设置于所述流体通路的入口处，用于检测所述流体通路的入口压力值；所述出口压力测量模块设置于所述流体通路的出口处，用于检测所述流体通路的出口压力值；所述控制模块用于在当前的流量设定值相对于上一流量设定值的变化量超出预设阈值时，根据所述入口压力测量模块检测的所述入口压力值和当前的所述流量设定值，以及预先存储的不同的入口压力值下，不同的流量设定值与流量调节阀的阀电压值的第一对应关系，获得当前的所述入口压力值下，与当前的所述流量设定值对应的阀电压值，并选择性地进入第一开度控制模式或者第二开度控制模式；其中，所述控制模块还用于在所述第一开度控制模式中，将所述流量调节阀的开度调节至与当前的所述阀电压值对应的开度，并根据所述入口压力测量模块实时检测的所述入口压力值的变化，实时调节所述流量调节阀的开度；所述控制模块还用于在所述第二开度控制模式中，将所述流量调节阀的开度调节至与当前的所述阀电压值对应的开度，并在根据所述出口压力测量模块实时检测的所述出口压力值满足第一稳定条件后，进入流量反馈控制模式；所述控制模块还用于在所述流量反馈控制模式中，根据所述流量传感器检测到的流量检测值，以及当前的所述流量设定值计算获得所述流量调节阀的开度调整量，并根据所述开度调整量调节所述流量调节阀的开度。

全文数据：

权利要求：

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