申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117845182A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请涉及一种镀膜设备的支撑组件及镀膜设备，其中，镀膜设备的支撑组件用于支撑镀膜设备的载片舟，镀膜设备的支撑组件包括托座、支撑部、承舟块和固定件；托座与镀膜设备固定，承舟块用于支撑载片舟；支撑部包括支撑杆，支撑杆沿轴向间隔固设有至少两个承舟块；支撑部能够相对于托座绕支撑杆的轴线转动，并可通过固定件与托座固定。该镀膜设备的支撑组件能够在保证承舟块能够稳定地支撑于支撑杆的同时，简化整体结构。

主权项：1.一种镀膜设备的支撑组件，用于支撑镀膜设备的载片舟，其特征在于，包括托座1、支撑部、承舟块3和固定件7；所述托座1与镀膜设备固定，所述承舟块3用于支撑所述载片舟；所述支撑部包括支撑杆2，所述支撑杆2沿轴向间隔固设有至少两个承舟块3；所述支撑部能够相对于所述托座1绕所述支撑杆2的轴线转动，并可通过固定件7与所述托座1固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种镀膜设备的支撑组件及镀膜设备

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