申请/专利权人：上海集成电路材料研究院有限公司

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850168A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/027

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种电子束直写装置，包括控制模块以及至少一个电子束源输出模块；控制模块用于产生i种控制信号；i为大于等于2的整数；各电子束源输出模块中任一电子束源输出模块在同时接收到i种控制信号时开启，进而发射对应的电子束；其中，各电子束源输出模块均包括接收单元、束流强度调控单元以及输出单元；束流强度调控单元用于提供强度调控信号；各接收单元的i个控制端在同时接收到i种控制信号时产生开启信号；各输出单元基于接收的开启信号以及强度调控信号发射对应的电子束并通过强度调控信号调控电子束的束流强度。本发明有效解决了电子束源阵列中各电子束源的束流强度不一致导致的直写时间不一致，均匀性不一致等问题。

主权项：1.一种电子束直写装置，其特征在于，所述电子束直写装置包括：控制模块以及至少一个电子束源输出模块；所述控制模块用于产生i种控制信号；i为大于等于2的整数；各电子束源输出模块分别连接控制模块；各电子束源输出模块中任一电子束源输出模块在同时接收到i种控制信号时开启，进而发射对应的电子束；其中，各电子束源输出模块均包括接收单元、束流强度调控单元以及输出单元；所述束流强度调控单元用于提供强度调控信号；各接收单元的i个控制端分别接收对应的控制信号，并在同时接收到i种控制信号时产生开启信号；各输出单元分别接收对应的开启信号以及对应的强度调控信号，基于接收的所述开启信号以及所述强度调控信号发射对应的电子束并通过所述强度调控信号调控所述电子束的束流强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海集成电路材料研究院有限公司 一种电子束直写装置

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