申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2022-07-19

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117859101A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/687;B25J15/06

优先权：["20210824 EP 21192931.0"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：一种用于物体处置器的夹持器包括：用于接合物体的表面的接合表面、以及连接到第一出口的第一通道，所述第一出口被配置为在使用期间作为真空夹具而操作，所述真空夹具被布置为将所述接合表面固定到所述物体的所述表面。所述夹持器还包括：被布置为连接到压力源的第二通道、以及至少一个第二出口，所述至少一个第二出口被布置为邻近所述接合表面并且连接到所述第二通道。

主权项：1.一种用于物体处置器的夹持器，包括：用于接合物体的表面的接合表面、以及连接到第一出口的第一通道，所述第一出口被配置为在使用期间作为真空夹具而操作，所述真空夹具被布置为将所述接合表面固定到所述物体的所述表面，其特征在于，所述夹持器还包括：被布置为连接到压力源的第二通道、以及至少一个第二出口，所述至少一个第二出口被布置为邻近所述接合表面并且连接到所述第二通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 物体夹持器、保持物体的方法以及光刻设备

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