申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

申请日：2024-02-28

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117849975A

主分类号：G02B7/00

分类号：G02B7/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请涉及基准装置以及其六自由度调整方法；基准装置包括基座组件、基准方镜、第一方向调节组件、第二方向调节组件及第三方向调节组件；第一方向调节组件具有第一弹性部以及第一调节部，第一弹性部与第一调节部能够调节基准方镜在第一方向上的位置；第二方向调节组件具有第二弹性部以及第二调节部，第二弹性部与第二调节部能够调节基准方镜在第二方向上的位置以及绕第三方向的偏转角Rz；第三方向调节组件能够调节基准方镜绕第一方向的偏转角Rx、绕第二方向的偏转角Ry以及基准方镜于第三方向上距离所述连接面的尺寸。本申请的基准装置可模拟运动台的功能，用于离线和在线调整干涉仪、调平与调焦传感器。

主权项：1.一种基准装置，其特征在于，包括基座组件、基准方镜、第一方向调节组件、第二方向调节组件以及第三方向调节组件；所述基座组件上具有安装面，所述基准方镜设置于所述安装面；所述第一方向调节组件具有第一弹性部以及第一调节部，所述第一弹性部与所述第一调节部分别设置于所述基准方镜沿第一方向上的端面，所述第一弹性部与所述第一调节部能够调节所述基准方镜在所述第一方向上的位置；所述第二方向调节组件具有第二弹性部以及第二调节部，所述第二弹性部与所述第二调节部分别设置于所述基准方镜沿第二方向上的端面，所述第二弹性部与所述第二调节部能够调节所述基准方镜在所述第二方向上的位置以及绕第三方向的偏转角Rz；所述第三方向调节组件沿所述第三方向延伸并用于与待连接件连接，所述第三方向调节组件与所述待连接件连接的面为连接面；所述第三方向调节组件能够调节所述基准方镜绕所述第一方向的偏转角Rx、绕所述第二方向的偏转角Ry以及所述基准方镜于所述第三方向上距离所述连接面的尺寸。

全文数据：

权利要求：

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