申请/专利权人：合肥工业大学

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117849392A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125;B81B7/02;B81C1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法，包括隔离框层、敏感层、埋氧层、空腔层和玻璃衬底，隔离框层设置在敏感层的一侧，埋氧层设置在敏感层的另一侧，空腔层设置在埋氧层远离敏感层的一侧。本发明采用双排梳齿的结构增加了梳齿电极的数量，相对于其他单排梳齿传感器结构有效地提高了电容式加速度传感器的灵敏度。固定梳齿电极与可动梳齿电极构成不等高梳齿结构，八组不等高梳齿构成检测Z轴加速度的差分检测结构，从而抵消非敏感轴方向对Z敏感轴的干扰。本发明采用单边凹槽单边阻尼孔的结构，减小阻尼的同时还偏移了敏感质量块质心的位置，增大了梳齿偏转的角度，以提高传感器的灵敏度。

主权项：1.一种用于车身悬架系统的电容式加速度传感器，其特征在于：包括隔离框层1、敏感层2、埋氧层3、空腔层4和玻璃衬底5，所述隔离框层1设置在所述敏感层2的一侧，所述埋氧层3设置在所述敏感层2的另一侧，所述空腔层4设置在所述埋氧层3远离所述敏感层2的一侧，所述玻璃衬底5设置在所述空腔层4远离所述埋氧层3的一侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥工业大学 用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法

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