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【发明公布】一种薄膜面内热导率测量装置和方法_北京科技大学_202410257201.3 

申请/专利权人:北京科技大学

申请日:2024-03-07

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN117849107A

主分类号:G01N25/20

分类号:G01N25/20

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要:本发明属于料热物性测试技术领域,具体涉及一种薄膜面内热导率测量装置和方法,所述装置利用金属环作为加热器,使用直流连续激光来测定温度场周期变化,反射后的激光经光电探测器转化为电信号,由锁相放大器提取。通入频率可调的交流电流对样品表面的金属环进行加热后,引起金属环内样品表面温度分布的周期性变化,利用样品表面反射率与温度近似呈线性关系这一原理,通过激光照射金属环中心区域,测量样品表面反射率随时间的变化,进而获得样品表面的温度分布。激光为连续直流激光,光电探测器将反射后的光强信号转化为电压信号,对锁相放大器中提取的电压信号与金属环中交流电频率的频谱进行拟合,即可得到面内热导率。

主权项:1.一种薄膜面内热导率测量系统,其特征在于,三维可调样品台、信号发生器、锁相放大器、光电探测器、激光发射器、光隔离器、偏振分光棱镜、滑动变阻器;所述信号发生器连接锁相放大器;同一高度上依次设置激光发射器、光隔离器、偏振分光棱镜和三维可调样品台;其中光电探测器对准偏振分光棱镜,并通过同轴电缆连接锁相放大器;所述三维可调样品台上放置被测样品,样品表面设置有金属环,所述金属环的一端连接信号发生器,另一端连接滑动变阻器的一端,所述滑动变阻器的另一端接地。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京科技大学 一种薄膜面内热导率测量装置和方法

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