申请/专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855076A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L23/544

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，更具体的说，涉及一种在线植针效果评判系统及方法。本发明提供的在线植针效果评判系统，包括植针运动组件、植针孔输送组件和观测组件：所述植针运动组件，将探针夹持和输送至预设植针位置，并进行植针动作；所述植针孔输送组件，将探针座的指定植针孔输送至植针运动组件的预设植针位置相对应的位置；所述观测组件，对在线植针过程中的探针和或植针孔进行观测，对植针效果进行评判。本发明通过实时监测植针过程中针尖位置状态，显著提高了植针成功率，并且探针植针修复工作无需人为干预，实现了完全自动化的操作，进一步提升了植针效率。

主权项：1.一种在线植针效果评判系统，其特征在于，包括植针运动组件、植针孔输送组件、观测组件：所述植针运动组件，将探针夹持和输送至预设植针位置，并进行植针动作；所述植针孔输送组件，将探针座的指定植针孔输送至植针运动组件的预设植针位置相对应的位置；所述观测组件，对在线植针过程中的探针和或植针孔进行观测，对植针效果进行评判。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海泽丰半导体科技有限公司 一种在线植针效果评判系统及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD