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【发明公布】复合基板及复合基板的制造方法_日本碍子株式会社_202280056274.5 

申请/专利权人:日本碍子株式会社

申请日:2022-08-15

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN117859417A

主分类号:H10N30/853

分类号:H10N30/853;H10N30/87;H10N30/06;H10N30/097;H03H3/08;H03H9/25

优先权:["20210827 JP 2021-139135"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要:本发明提供翘曲的发生得以抑制的复合基板。本发明的实施方式的复合基板具有:支撑基板、以及配置于所述支撑基板的上方的压电膜,所述压电膜由利用Lotgering法求出的c轴取向度为80%以下的多晶体构成。

主权项:1.一种复合基板,其中,具有:支撑基板;以及压电膜,该压电膜配置于所述支撑基板的上方,所述压电膜由利用Lotgering法求出的c轴取向度为80%以下的多晶体构成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本碍子株式会社 复合基板及复合基板的制造方法

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