申请/专利权人：江苏道达智能科技有限公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117291378B

主分类号：G06Q10/0631

分类号：G06Q10/0631;G06Q10/04;G06Q50/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明的公开了一种RTD派工系统及其可视化分析系统，以解决在晶圆生产的自动化派工领域中存在的无法根据生产计划自动生成相应的生产批次、实时监控生产进度时，通常使用一套固定的评价标准，评价标准不具有适应性等问题。本发明具有如下特征：通过生产任务下达模块与自动派工模块的协同交互，系统可以自动根据工作人员下达的任务，找到最优分配批次以及最优加工工序，节约晶圆加工时间以及人工计算成本；通过设置可视化分析系统超时判别规则，在发生可能滞后的情况时，可视化监测系统迅速计算出预计滞后时间，通过可视化大屏展示给工作人员，使工作人员可以直观了解当前工序的情况。

主权项：1.一种RTD派工系统，其特征在于，包括：生产流程制定模块、生产任务下达模块、工序生成模块、自动派工模块：其中，生产流程制定模块：用于生产管理人员制定生产流程，生产流程具体内容包括：晶圆型号、工序号、加工工序机台类型、加工时间、运送时间，生产管理人员用生产流程指定模块制定生产流程后，生产流程制定模块将生产流程传输至工序生成模块；生产任务下达模块：用于生产管理人员制定生产任务，生产任务具体内容包括：晶圆型号、晶圆个数，生产管理人员制定生产任务后，生产流程制定模块将生产任务传输至工序生成模块；工序生成模块：用于根据生产流程制定模块传输的生产流程、生产任务下达模块传输的生产任务，通过工序生成策略，生成最终工序，并将最终工序传输至自动派工模块；自动派工模块：用于根据工序生成模块传输的最终工序，对晶圆加工现场进行派工，具体方法为：控制传送装置，在每个批次的工序开始时间之前，将相应批次的晶圆送至相应的机台，在每个批次的工序实际结束后，将相应批次的晶圆从结束工序的机台传输至下一个工序的机台；所述工序生成策略，包括以下具体步骤：S1：计算每个批次每个工序的加工时间，具体公式如下： 其中，Tc,i表示第c批晶圆在第i道工序的加工时间，CEIL为向上去整符号，表示进行向上去整运算，Nc表示第c批晶圆的加工个数，Nu,i表示型号为u的晶圆在第i道工序的机台的最大加工晶圆个数，表示该机台一次最多可以加工多少晶圆，为管理人员事先制定的定值，Tu,i表示型号为u的晶圆在第i道工序的加工时间，为管理人员事先制定的定值，表示型号为u的晶圆在第i道工序的运送时间，包括加工前的运送时间以及加工后的运送时间，为管理人员事先制定的定值；S2：计算每个批次每一道工序的预计开始时间具体公式如下： 其中，表示第c批晶圆在第i道工序的预计开始时间，即第c批晶圆在第i道工序预计在该时间点开始，k为由1到i-1的任意整数，Tc,k表示第c批晶圆在第k道工序的加工时间；S3：计算每个批次每一道工序的预计结束时间具体公式如下： 其中，表示第c批晶圆在第i道工序的预计结束时间，即第c批晶圆在第i道工序预计在该时间点结束，k为由1到i的任意整数，Tc,k表示第c批晶圆在第k道工序的加工时间；S4：列出工序的时间区间，每个批次每个工序的预计开始时间与预计结束时间用区间S5：列出工序的时间区间后，找出重合且工序中所用机台相同的区间，优先处理靠前的时间区间，比较重合的时间区间数与该时间可以使用的机台数，当重合的时间区间数小于等于该时间区间可以使用的机台数，则给每个机台分配一个批次进行加工；重合的时间区间数大于该时间区间可以使用的机台数，则先将每个机台分配一个批次进行加工，剩余未分配的机台的批次该工序的时间区间延后，等有空闲机台时，再进行时间区间的计算；S6：处理一个重合时间区间后，继续处理后续时间区间，直至所有时间区间处理完毕，由此得到每个批次的工序加工的时间区间以及加工的机台序号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏道达智能科技有限公司 一种RTD派工系统及其可视化分析系统

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