申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117556279B

主分类号：G06F18/232

分类号：G06F18/232;G06F18/23213;G06F123/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明涉及电性能测试技术领域，具体涉及基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统，本发明首先根据时序电流数据在对应采样周期中的显著程度和对应的采样周期在整体时序电流数据中的显著程度进行分析，得到每个时序电流数据的电流数据显著度；根据每次迭代聚类过程中各个电流数据聚类簇的时序电流数据数量变化情况和聚类中心位置变化情况，以及电流数据显著度的整体偏离情况，得到每个时序电流数据的整体聚类影响程度；根据整体聚类影响程度结合时序电流数据的周期时序信息，得到更加准确的修正聚类中心，使得进一步地根据修正聚类中心进行聚类分析得到的最终电流波动范围对匀胶显影机的运行状态监测效果更好。

主权项：1.基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述方法包括：获取匀胶显影机运行时每个采样周期中的时序电流数据；根据不同采样周期之间的时序电流数据变化趋势差异，以及每个采样周期中各个时序电流数据偏差分布情况，得到每个时序电流数据的电流数据显著度；对所有时序电流数据进行迭代自组织聚类，根据每次迭代聚类过程中各个电流数据聚类簇的时序电流数据数量变化情况和聚类中心位置变化情况，以及每个电流数据聚类簇中每个时序电流数据的电流数据显著度的整体偏离情况，得到每个时序电流数据的整体聚类影响程度；根据每个电流数据聚类簇中各个时序电流数据的整体聚类影响程度和周期时序信息，得到每个电流数据聚类簇的修正聚类中心；根据所述修正聚类中心进行聚类分析，得到最终电流波动范围；根据所述最终电流波动范围进行匀胶显影机运行状态监测；所述电流数据显著度的获取方法包括：将所有采样周期中所有时序电流数据的均值，作为标准电流均值；将每个采样周期中所有时序电流数据的均值，作为每个采样周期的参考电流均值；将每个采样周期的参考电流均值与所述标准电流均值的差异，作为每个采样周期的电流周期显著性；将每个采样周期中所有时序电流数据的标准差，作为每个采样周期的电流波动程度；根据每个采样周期中，每个时序电流数据与所述参考电流均值的偏差，得到每个时序电流数据的电流局部显著性；将所述电流周期显著性、所述电流波动程度和所述电流局部显著性之间的乘积的归一化值，作为每个时序电流数据的电流数据显著度；所述电流局部显著性的获取方法包括：将所述参考电流均值与预设第一调节参数的和值作为第一参考和值，所述预设第一调节参数大于0；将每个时序电流数据与所处采样周期的参考电流均值之间的差异，作为每个时序电流数据的参考差异；将所述参考差异与所述第一参考和值之间的比值，作为每个时序电流数据的电流局部显著性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏雷博微电子设备有限公司 基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统

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